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機器一覧
| 設備等名称 |
メーカー | 機種 | 依頼分析 | 設置地区 |
|---|---|---|---|---|
| ICPエッチング装置 | SAMCO | RIE-400 | 筑紫 | |
| プラズマCVD装置 | SAMCO | PD-100 | 筑紫 | |
| 電子線描画装置 | ELIONIX | ELS-100 | 筑紫 |
各機器詳細
ICPエッチング装置
SAMCO RIE-400
基本情報
- メーカー
- SAMCO
- 機種
- RIE-400
- 製造年
- -
- 設置場所
- 筑紫地区北棟122号室
- 担当者
- 梅津 光孝
- 依頼分析
- 受付可
- 登録名
プラズマCVD装置
SAMCO PD-100
基本情報
- メーカー
- SAMCO
- 機種
- PD-100
- 製造年
- -
- 設置場所
- 筑紫地区北棟122号室
- 担当者
- 梅津 光孝
- 依頼分析
- 受付可
- 登録名
電子線描画装置
Elionix ELS-100
基本情報
- メーカー
- Elionix
- 機種
- ELS-100
- 製造年
- -
- 設置場所
- 筑紫地区北棟121号室
- 担当者
- 梅津 光孝
- 依頼分析
- 受付可
- 登録名
